Μελέτη της κατανάλωσης ισχύος στις εκκενώσεις αίγλης αερίων και εφαρμογή στην εναπόθεση αμόρφου υδρογονωμένου πυριτίου - Σπηλιόπουλος, Νικόλαος (2009)