Ανάπτυξη της μεθόδου μέτρησης της ισχύος και της εμπέδησης του πλάσματος στην διεργασία εναπόθεσης μικροκρυσταλλικού πυριτίου
Τις τελευταίες δεκαετίες, οι διεργασίες πλάσματος με τάση διέγερσης ραδιοσυχνότητας χρησιμοποιούνται ολοένα και περισσότερο και απαντώνται σε διάφορες εφαρμογές όπως στην εναπόθεση υλικών, στην επεξεργασία επιφανειών κα. Αυτό έχει ως αποτέλεσμα οι εκκενώσεις αίγλης ραδιοσυχνότητας να προσελκύσουν έν...
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Format: | Thesis |
| Language: | Greek |
| Published: |
2014
|
| Subjects: | |
| Online Access: | http://hdl.handle.net/10889/7988 |
