Handbook of thin film process technology /

• Other Authors: Glocker, David A. (επιμελητής.), Shah, S. Ismat (επιμελητής.)
• Format: Book
• Language: English
• Published: Bristol, UK ; Philadelphia : Institute of Physics Pub., c1995.
• Subjects: Λεπτά υμένια; Επιφάνειες (Τεχνολογία)
• Physical Description: ποικ/λη σελ/μηση : εικ. ; 31 εκ
• Bibliography: Περιλαμβάνει βιβλιογραφία και ευρετήριο.
• ISBN: 0750303115