Handbook of thin film process technology /

• Άλλοι συγγραφείς: Glocker, David A. (επιμελητής.), Shah, S. Ismat (επιμελητής.)
• Μορφή: Βιβλίο
• Γλώσσα: English
• Έκδοση: Bristol, UK ; Philadelphia : Institute of Physics Pub., c1995.
• Θέματα: Λεπτά υμένια; Επιφάνειες (Τεχνολογία)