Μελέτη της κατανάλωσης ισχύος στις εκκενώσεις αίγλης αερίων και εφαρμογή στην εναπόθεση άμορφου υδρογονωμένου πυριτίου

• Κύριος συγγραφέας: Σπηλιόπουλος, Νικόλαος Σ.
• Μορφή: Βιβλίο
• Γλώσσα: Greek
• Έκδοση: Πάτρα 1997
• Θέματα: Χημική τεχνολογία > Πλάσμα; Χημικοί αντιδραστήρες
• Φυσική περιγραφή: 224, xviii p. σχήμ. 29 cm