Μελέτη της κατανάλωσης ισχύος στις εκκενώσεις αίγλης αερίων και εφαρμογή στην εναπόθεση άμορφου υδρογονωμένου πυριτίου

Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
Κύριος συγγραφέας: Σπηλιόπουλος, Νικόλαος Σ.
Μορφή: Βιβλίο
Γλώσσα:Greek
Έκδοση: Πάτρα 1997
Θέματα:
Διαθέσιμο Online:http://thesis.ekt.gr/11144
LEADER 01214nam a2200253 u 4500
001 10019416
003 upatras
005 20210202093440.0
008 881025s1997 gr gre
040 |a GR-PaULI  |c GR-PaULI 
041 0 |a gre 
082 0 4 |a 660.044 
100 1 |a Σπηλιόπουλος, Νικόλαος Σ.  |9 143053 
245 1 0 |a Μελέτη της κατανάλωσης ισχύος στις εκκενώσεις αίγλης αερίων και εφαρμογή στην εναπόθεση άμορφου υδρογονωμένου πυριτίου  |c Νικολάου Σ. Σπηλιόπουλου 
260 |a Πάτρα  |c 1997 
300 |a 224, xviii p.  |b σχήμ.  |c 29 cm 
505 1 |a Περιλαμβάνει βιβλιογραφία 
650 4 |a Χημική τεχνολογία  |x Πλάσμα  |9 30326 
650 4 |a Χημικοί αντιδραστήρες  |9 9607 
852 |a GR-PaULI  |b ΠΑΤΡΑ  |b ΒΚΠ  |b ΑΝΕ  |k ΔΙΑΤΡΙΒΗ  |h 660.044 Σ  |m 35899  |t 1 
856 |u http://thesis.ekt.gr/11144  
942 |2 ddc  |c BKTD 
952 |0 0  |1 0  |4 0  |6 660_044000000000000_Σ  |7 0  |9 175505  |a LISP  |b LISP  |c RES  |d 2016-04-24  |i 35899  |l 0  |o 660.044 Σ  |r 2016-04-24 00:00:00  |t 1  |w 2016-04-24  |y BKTD 
999 |c 109263  |d 109263