Glow discharge processes sputtering and plasma etching

• Κύριος συγγραφέας: Chapman, Brian
• Μορφή: Βιβλίο
• Γλώσσα: English
• Έκδοση: New York John Wiley & Sons 1980
• Θέματα: Ηλεκτρισμός
• Φυσική περιγραφή: xv, 406 p. fig., tab. 24 cm
• ISBN: 047107828X