Ion implantation basics to device fabrication

• Κύριος συγγραφέας: Rimini, Emanuele
• Μορφή: Βιβλίο
• Γλώσσα: English
• Έκδοση: Boston Kluwer Academic Publishers 1995
• Σειρά: The Kluwer international series in engineering and computer science
• Θέματα: Κρυσταλλολυχνίες
• Φυσική περιγραφή: xii, 393 p. fig. 24 cm.
• Βιβλιογραφία: Includes references and index
• ISBN: 0792395204