Middleman, S., & Hochberg, A. K. (1993). Process engineering analysis in semiconductor device fabrication. McGraw - Hill.
Παραπομπή σε μορφή Chicago (17η εκδ.)Middleman, Stanley, και Arthur K. Hochberg. Process Engineering Analysis in Semiconductor Device Fabrication. New York: McGraw - Hill, 1993.
Παραπομπή σε μορφή MLA (8th εκδ.)Middleman, Stanley, και Arthur K. Hochberg. Process Engineering Analysis in Semiconductor Device Fabrication. McGraw - Hill, 1993.
Πρόσοχή: Οι παραπομπές μπορεί να μην είναι 100% ακριβείς.