Process engineering analysis in semiconductor device fabrication
Κύριος συγγραφέας: | |
---|---|
Άλλοι συγγραφείς: | |
Μορφή: | Βιβλίο |
Γλώσσα: | English |
Έκδοση: |
New York
McGraw - Hill
1993
|
Σειρά: | McGraw - Hill chemical engineering series
|
Θέματα: |
Πίνακας περιεχομένων:
- Includes references . - index