Modeling and simulation of thin-film processing Proceedings of the Materials Research Society Symposium on "Modeling and...", held in San Francisco, CA, from April 17-20, 1995
Άλλοι συγγραφείς: | , , , |
---|---|
Μορφή: | Βιβλίο |
Γλώσσα: | English |
Έκδοση: |
Pittsburgh
Materials Research Society
1995
|
Σειρά: | Materials Research Society Symposium Proceedings
v.389 |
Θέματα: |
Φυσική περιγραφή: | xi, 382 p. fig., tab. 23,5 cm |
---|---|
ISBN: | 1558992928 |
ISSN: | 0272-9172 |