Βελτιστοποίηση της χημικής εναπόθεσης μικροκρυσταλλικού υδρογονωμένου πυριτίου σε αντιδραστήρα πλάσματος μεταβλητής ραδιοσυχνότητας

• Κύριος συγγραφέας: Αμανατίδης, Ελευθέριος Κ.
• Συγγραφή απο Οργανισμό/Αρχή: Πανεπιστήμιο Πατρών Σχολή Επιστημών Υγείας Τμήμα Ιατρικής (Πολυτεχνική Σχολή, Τμήμα Χημικών Μηχανικών)
• Μορφή: Βιβλίο
• Γλώσσα: Greek
• Έκδοση: Πάτρα [χ.ό.] 2001
• Θέματα: Χημική τεχνολογία > Πλάσμα; Φασματοσκοπία Raman
• Περιγραφή τεκμηρίου: Διδακτορική Διατριβή
• Φυσική περιγραφή: 240 σ. σχήμ. 30 εκ.
• Βιβλιογραφία: Περιλαμβάνει αναφορές