Βελτιστοποίηση της χημικής εναπόθεσης μικροκρυσταλλικού υδρογονωμένου πυριτίου σε αντιδραστήρα πλάσματος μεταβλητής ραδιοσυχνότητας

• Main Author: Αμανατίδης, Ελευθέριος Κ.
• Corporate Author: Πανεπιστήμιο Πατρών Σχολή Επιστημών Υγείας Τμήμα Ιατρικής (Πολυτεχνική Σχολή, Τμήμα Χημικών Μηχανικών)
• Format: Book
• Language: Greek
• Published: Πάτρα [χ.ό.] 2001
• Subjects: Χημική τεχνολογία > Πλάσμα; Φασματοσκοπία Raman