Χημική εναπόθεση από ατμό διηλεκτρικών υμενίων εφαρμογές των υμενίων αυτών σε ηλεκτρονικές διατάξεις πυριτίου

• Κύριος συγγραφέας: Βαμβακάς, Βασίλειος Εμ
• Συγγραφή απο Οργανισμό/Αρχή: Εθνικό Μετσόβιο Πολυτεχνείο (Σχολή Εφαρμοσμένων Μαθηματικών και Φυσικών Επιστημών)
• Μορφή: Βιβλίο
• Γλώσσα: Greek
• Έκδοση: Αθήνα [χ.ό.] 2001
• Θέματα: Μικροηλεκτρονική
• Περιγραφή τεκμηρίου: Διδακτορική διατριβή
• Φυσική περιγραφή: xviii, 228 σ. σχήμ., πίν. 30 εκ.
• Βιβλιογραφία: Περιλαμβάνει βιβλιογραφία και παραρτήματα