Χημική εναπόθεση από ατμό διηλεκτρικών υμενίων εφαρμογές των υμενίων αυτών σε ηλεκτρονικές διατάξεις πυριτίου

• Main Author: Βαμβακάς, Βασίλειος Εμ
• Corporate Author: Εθνικό Μετσόβιο Πολυτεχνείο (Σχολή Εφαρμοσμένων Μαθηματικών και Φυσικών Επιστημών)
• Format: Book
• Language: Greek
• Published: Αθήνα [χ.ό.] 2001
• Subjects: Μικροηλεκτρονική
• Item Description: Διδακτορική διατριβή
• Physical Description: xviii, 228 σ. σχήμ., πίν. 30 εκ.
• Bibliography: Περιλαμβάνει βιβλιογραφία και παραρτήματα