Χημική εναπόθεση από ατμό διηλεκτρικών υμενίων εφαρμογές των υμενίων αυτών σε ηλεκτρονικές διατάξεις πυριτίου

Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
Κύριος συγγραφέας: Βαμβακάς, Βασίλειος Εμ
Συγγραφή απο Οργανισμό/Αρχή: Εθνικό Μετσόβιο Πολυτεχνείο (Σχολή Εφαρμοσμένων Μαθηματικών και Φυσικών Επιστημών)
Μορφή: Βιβλίο
Γλώσσα:Greek
Έκδοση: Αθήνα [χ.ό.] 2001
Θέματα:
LEADER 01621nam a22002771u 4500
001 10043755
003 upatras
005 20230617063147.0
008 020411s2001 gr gre
040 |a GR-PaULI  |c GR-PaULI 
041 0 |a gre 
082 0 4 |a 621.381 
100 1 |a Βαμβακάς, Βασίλειος Εμ.  |9 33946 
245 1 0 |a Χημική εναπόθεση από ατμό διηλεκτρικών υμενίων  |b εφαρμογές των υμενίων αυτών σε ηλεκτρονικές διατάξεις πυριτίου  |c Βασίλειος Εμ. Βαμβακάς; Εθνικό Μετσόβιο Πολυτεχνεία, Τμήμα Εφαρμοσμένων Μαθηματικών και Φυσικών Επιστημών  
260 |a Αθήνα  |b [χ.ό.]  |c 2001 
300 |a xviii, 228 σ.  |b σχήμ., πίν.  |c 30 εκ. 
500 |a Διδακτορική διατριβή 
504 |a Περιλαμβάνει βιβλιογραφία και παραρτήματα 
650 4 |a Μικροηλεκτρονική  |9 724 
710 2 |a Εθνικό Μετσόβιο Πολυτεχνείο  |e Σχολή Εφαρμοσμένων Μαθηματικών και Φυσικών Επιστημών  |9 3159 
852 |a GR-PaULI  |b ΠΑΤΡΑ  |b ΒΚΠ  |b ΒΣ2  |k ΔΙΑΤΡΙΒΗ  |h 621.381 Β  |m 068631  |p 025000106768  |t 1 
942 |2 ddc  |c BKTD 
952 |0 0  |1 0  |4 0  |6 621_381000000000000_Β  |7 0  |9 32352  |a LISP  |b LISP  |c BSC  |d 2016-04-24  |i 068631  |l 0  |o 621.381 Β  |p 025000106768  |r 2016-04-24 00:00:00  |t 1  |w 2016-04-24  |y BKTD 
998 |c ΒΑΣΙΛΕΙΟΥ  |d 2002-04 
998 |c ΔΡΑΚΟΠΟΥΛΟΥ  |d 2002-04 
999 |c 20692  |d 20692