Mechanical microsensors

Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
Κύριος συγγραφέας: Elwenspoek, M 1948- ((Miko))
Άλλοι συγγραφείς: Wiegerink, Remco J. 1964-
Μορφή: Βιβλίο
Γλώσσα:English
Έκδοση: Berlin Springer c2001
Σειρά:Microtechnology and MEMS
Θέματα:
Περιγραφή
Φυσική περιγραφή:x, 295 p. fig., tab. 24 cm.
Βιβλιογραφία:Includes bibliographical references and index
ISBN:3540675825