Mechanical microsensors
Κύριος συγγραφέας: | |
---|---|
Άλλοι συγγραφείς: | |
Μορφή: | Βιβλίο |
Γλώσσα: | English |
Έκδοση: |
Berlin
Springer
c2001
|
Σειρά: | Microtechnology and MEMS
|
Θέματα: |
Φυσική περιγραφή: | x, 295 p. fig., tab. 24 cm. |
---|---|
Βιβλιογραφία: | Includes bibliographical references and index |
ISBN: | 3540675825 |