Electroceramic-Based MEMS Fabrication-Technology and Applications

Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
Κύριος συγγραφέας: Setter, Nava
Μορφή: Ηλεκτρονική πηγή Εργαλειοθήκη Βιβλίο
Γλώσσα:English
Έκδοση: Boston, MA Springer Science+Business Media, Inc. 2005
Σειρά:Electronic Materials: Science and Technology 9
Θέματα:
Διαθέσιμο Online:http://dx.doi.org/10.1007/b101200