Electroceramic-Based MEMS Fabrication-Technology and Applications
Κύριος συγγραφέας: | |
---|---|
Μορφή: | Ηλεκτρονική πηγή Εργαλειοθήκη Βιβλίο |
Γλώσσα: | English |
Έκδοση: |
Boston, MA
Springer Science+Business Media, Inc.
2005
|
Σειρά: | Electronic Materials: Science and Technology
9 |
Θέματα: | |
Διαθέσιμο Online: | http://dx.doi.org/10.1007/b101200 |
Φυσική περιγραφή: | v.: digital |
---|---|
ISBN: | 9780387233192 |
ISSN: | 1386-3290 |