Electroceramic-Based MEMS Fabrication-Technology and Applications

Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
Κύριος συγγραφέας: Setter, Nava
Μορφή: Ηλεκτρονική πηγή Εργαλειοθήκη Βιβλίο
Γλώσσα:English
Έκδοση: Boston, MA Springer Science+Business Media, Inc. 2005
Σειρά:Electronic Materials: Science and Technology 9
Θέματα:
Διαθέσιμο Online:http://dx.doi.org/10.1007/b101200
LEADER 01371nom a2200361 u 4500
001 10070469
003 upatras
005 20210117201615.0
008 090513s2005 eng
020 |a 9780387233192 
040 |a GR-PaULI  |c GR-PaULI 
041 0 |a eng 
100 1 |a Setter, Nava  |9 66734 
245 1 0 |a Electroceramic-Based MEMS  |h [electronic resource]  |b Fabrication-Technology and Applications  |c edited by Nava Setter 
260 |a Boston, MA  |b Springer Science+Business Media, Inc.  |c 2005 
300 |b v.: digital 
490 0 |a Electronic Materials: Science and Technology  |v 9  |x 1386-3290 
650 4 |a Optical materials  |9 64444 
650 4 |a Nanotechnology  |9 19191 
650 4 |a Materials  |9 13218 
650 4 |a Electronics  |9 15695 
650 4 |a Chemistry  |9 11013 
650 4 |a Optical and Electronic Materials  |9 64446 
650 4 |a Nanotechnology  |9 19191 
650 4 |a Characterization and Evaluation Materials  |9 64522 
650 4 |a Ceramics, Glass, Composites, Natural Methods  |9 65645 
650 4 |a Electronics and Microelectronics, Instrumentation  |9 64430 
760 1 |a Electronic Materials: Science and Technology  |g 9  |x 1386-3290 
852 |a GR-PaULI  |b ΠΑΤΡΑ  |b ΒΚΠ 
856 4 0 |u http://dx.doi.org/10.1007/b101200 
942 |2 ddc 
952 |0 0  |1 0  |4 0  |7 0  |9 71924  |a LISP  |b LISP  |d 2016-04-24  |l 0  |r 2016-04-24 00:00:00  |w 2016-04-24  |y ERS 
999 |c 46714  |d 46714