Principles and Applications of NanoMEMS Physics
Κύριος συγγραφέας: | |
---|---|
Μορφή: | Ηλεκτρονική πηγή Εργαλειοθήκη Βιβλίο |
Γλώσσα: | English |
Έκδοση: |
Boston, MA
Springer
2005
|
Σειρά: | Microsystems
15 |
Θέματα: | |
Διαθέσιμο Online: | http://dx.doi.org/10.1007/b136228 |
Φυσική περιγραφή: | v.: digital |
---|---|
ISBN: | 9780387258348 |
ISSN: | 1389-2134 |