Multi-Wafer Rotating MEMS Machines Turbines, Generators, and Engines
Κύριος συγγραφέας: | |
---|---|
Συγγραφή απο Οργανισμό/Αρχή: | |
Μορφή: | Ηλεκτρονική πηγή Εργαλειοθήκη Βιβλίο |
Γλώσσα: | English |
Έκδοση: |
Boston, MA
Springer-Verlag US
2010
|
Σειρά: | MEMS Reference Shelf
|
Θέματα: | |
Διαθέσιμο Online: | http://dx.doi.org/10.1007/978-0-387-77747-4 |
Φυσική περιγραφή: | v.: digital |
---|---|
ISBN: | 9780387777474 |
ISSN: | 1936-4407 |