Multi-Wafer Rotating MEMS Machines Turbines, Generators, and Engines

• Κύριος συγγραφέας: Lang, Jeffrey
• Συγγραφή απο Οργανισμό/Αρχή: SpringerLink (Online service)
• Μορφή: Ηλεκτρονική πηγή Εργαλειοθήκη Βιβλίο
• Γλώσσα: English
• Έκδοση: Boston, MA Springer-Verlag US 2010
• Σειρά: MEMS Reference Shelf
• Θέματα: Engineering; Computer engineering; Electronics; Systems engineering; Electric engineering; Electronics and Microelectronics, Instrumentation; Energy Technology; Circuits and Systems; Electrical Engineering; Energy, general