Precision Nanometrology Sensors and Measuring Systems for Nanomanufacturing

Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
Κύριος συγγραφέας: Gao, Wei
Συγγραφή απο Οργανισμό/Αρχή: SpringerLink (Online service)
Μορφή: Ηλεκτρονική πηγή Εργαλειοθήκη Βιβλίο
Γλώσσα:English
Έκδοση: London Springer-Verlag London 2010
Σειρά:Springer Series in Advanced Manufacturing
Θέματα:
Διαθέσιμο Online:http://dx.doi.org/10.1007/978-1-84996-254-4
LEADER 01307nom a2200361 u 4500
001 10092918
003 upatras
005 20210127212224.0
008 110802s2010 eng
020 |a 9781849962544 
040 |a GR-PaULI  |c GR-PaULI 
041 0 |a eng 
100 1 |a Gao, Wei  |9 97565 
245 1 0 |a Precision Nanometrology  |h [electronic resource]  |b Sensors and Measuring Systems for Nanomanufacturing  |c by Wei Gao 
260 |a London  |b Springer-Verlag London  |c 2010 
300 |b v.: digital 
490 0 |a Springer Series in Advanced Manufacturing  |v 0  |x 1860-5168 
650 4 |a Engineering  |9 17712 
650 4 |a Control engineering systems  |9 94073 
650 4 |a Machinery  |9 16905 
650 4 |a Nanotechnology  |9 19191 
650 4 |a Engineering  |9 17712 
650 4 |a Manufacturing, Machines, Tools  |9 64863 
650 4 |a Γεωδαισία  |9 35639 
650 4 |a Nanotechnology  |9 19191 
650 4 |a Control , Robotics, Mechatronics  |9 94074 
710 2 |a SpringerLink (Online service)  |9 68735 
760 1 |a Springer Series in Advanced Manufacturing  |g 0  |x 1860-5168 
852 |a GR-PaULI  |b ΠΑΤΡΑ  |b ΒΚΠ 
856 4 0 |u http://dx.doi.org/10.1007/978-1-84996-254-4 
942 |2 ddc 
952 |0 0  |1 0  |4 0  |7 0  |9 100832  |a LISP  |b LISP  |d 2016-04-24  |l 0  |r 2016-04-24 00:00:00  |w 2016-04-24  |y ERS 
999 |c 68618  |d 68618