Precision Nanometrology Sensors and Measuring Systems for Nanomanufacturing
| Κύριος συγγραφέας: | |
|---|---|
| Συγγραφή απο Οργανισμό/Αρχή: | |
| Μορφή: | Ηλεκτρονική πηγή Εργαλειοθήκη Βιβλίο |
| Γλώσσα: | English |
| Έκδοση: |
London
Springer-Verlag London
2010
|
| Σειρά: | Springer Series in Advanced Manufacturing
|
| Θέματα: | |
| Διαθέσιμο Online: | http://dx.doi.org/10.1007/978-1-84996-254-4 |
