Introductory MEMS Fabrication and Applications
Κύριος συγγραφέας: | |
---|---|
Συγγραφή απο Οργανισμό/Αρχή: | |
Άλλοι συγγραφείς: | |
Μορφή: | Ηλεκτρονική πηγή Εργαλειοθήκη Βιβλίο |
Γλώσσα: | English |
Έκδοση: |
Boston, MA
Springer Science+Business Media, LLC
2010
|
Έκδοση: | 1 |
Θέματα: | |
Διαθέσιμο Online: | http://dx.doi.org/10.1007/978-0-387-09511-0 |
Φυσική περιγραφή: | v.: digital |
---|---|
ISBN: | 9780387095110 |