Εναπόθεση αμόρφου υδρογονωμένου πυριτίου στην εκκένωση αίγλης του σιλανίου ρόλος των ενεργών ενδιαμέσων

• Κύριος συγγραφέας: Ματαρά, Δημήτρη Σ.
• Συγγραφή απο Οργανισμό/Αρχή: Πανεπιστήμιο Πατρών Σχολή Επιστημών Υγείας Τμήμα Ιατρικής (Πολυτεχνική Σχολή, Τμήμα Χημικών Μηχανικών)
• Μορφή: Βιβλίο
• Γλώσσα: Greek
• Έκδοση: Πάτρα Πανεπιστήμιο Πατρών 1990
• Θέματα: Χημική τεχνολογία > Πλάσμα