Εναπόθεση αμόρφου υδρογονωμένου πυριτίου στην εκκένωση αίγλης του σιλανίου ρόλος των ενεργών ενδιαμέσων

Εναπόθεση αμόρφου υδρογονωμένου πυριτίου στην εκκένωση αίγλης του σιλανίου ρόλος των ενεργών ενδιαμέσων

Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
Κύριος συγγραφέας: Ματαρά, Δημήτρη Σ.
Συγγραφή απο Οργανισμό/Αρχή: Πανεπιστήμιο Πατρών Σχολή Επιστημών Υγείας Τμήμα Ιατρικής (Πολυτεχνική Σχολή, Τμήμα Χημικών Μηχανικών)
Μορφή: Βιβλίο
Γλώσσα:Greek
Έκδοση: Πάτρα Πανεπιστήμιο Πατρών 1990
Θέματα:
Χημική τεχνολογία > Πλάσμα
Διαθέσιμο Online:http://thesis.ekt.gr/1408

Παρόμοια τεκμήρια

Παρόμοια τεκμήρια