Εναπόθεση αμόρφου υδρογονωμένου πυριτίου στην εκκένωση αίγλης του σιλανίου ρόλος των ενεργών ενδιαμέσων

• Main Author: Ματαρά, Δημήτρη Σ.
• Corporate Author: Πανεπιστήμιο Πατρών Σχολή Επιστημών Υγείας Τμήμα Ιατρικής (Πολυτεχνική Σχολή, Τμήμα Χημικών Μηχανικών)
• Format: Book
• Language: Greek
• Published: Πάτρα Πανεπιστήμιο Πατρών 1990
• Subjects: Χημική τεχνολογία > Πλάσμα