Adams, T. M., & Layton, R. A. (2010). Introductory MEMS: Fabrication and Applications (1.). Springer US.
Παραπομπή σε μορφή Chicago (17η εκδ.)Adams, Thomas M., και Richard A. Layton. Introductory MEMS: Fabrication and Applications. 1. Boston, MA: Springer US, 2010.
Παραπομπή σε μορφή MLA (8th εκδ.)Adams, Thomas M., και Richard A. Layton. Introductory MEMS: Fabrication and Applications. 1. Springer US, 2010.
Πρόσοχή: Οι παραπομπές μπορεί να μην είναι 100% ακριβείς.