Introductory MEMS Fabrication and Applications /

Introductory MEMS: Fabrication and Applications is a practical introduction to MEMS for advanced undergraduate and graduate students. Part I introduces the student to the most commonly used MEMS fabrication techniques as well as the MEMS devices produced using these techniques. Part II focuses on ME...

Πλήρης περιγραφή

Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
Κύριοι συγγραφείς: Adams, Thomas M. (Συγγραφέας), Layton, Richard A. (Συγγραφέας)
Συγγραφή απο Οργανισμό/Αρχή: SpringerLink (Online service)
Μορφή: Ηλεκτρονική πηγή Ηλ. βιβλίο
Γλώσσα:English
Έκδοση: Boston, MA : Springer US, 2010.
Έκδοση:1.
Θέματα:
Διαθέσιμο Online:Full Text via HEAL-Link
Πίνακας περιεχομένων:
  • Fabrication
  • The substrate and adding material to it
  • Creating and transferring patterns#x2014;Photolithography
  • Creating structures#x2014;Micromachining
  • Solid mechanics
  • Applications
  • Thinking about modeling
  • MEMS transducers#x2014;An overview of how they work
  • Piezoresistive transducers
  • Capacitive transducers
  • Piezoelectric transducers
  • Thermal transducers
  • to microfluidics
  • Laboratories
  • Microfabrication laboratories.