Micro and Nanomanufacturing

Nanofabrication and nanotechnology present a great challenge to engineers and researchers as they manipulate atoms and molecules to produce single artifacts and submicron components/systems. Micro and Nanomanufacturing provides a comprehensive treatment of established micro & nano fabrication te...

Πλήρης περιγραφή

Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
Κύριος συγγραφέας: Jackson, Mark J. (Συγγραφέας)
Συγγραφή απο Οργανισμό/Αρχή: SpringerLink (Online service)
Μορφή: Ηλεκτρονική πηγή Ηλ. βιβλίο
Γλώσσα:English
Έκδοση: Boston, MA : Springer US, 2007.
Θέματα:
Διαθέσιμο Online:Full Text via HEAL-Link
Πίνακας περιεχομένων:
  • Principles of Micro- and Nanofabrication
  • Microfabrication Using X- ray Lithography
  • Manufacturing High Aspect Ratio Microstructures
  • Meso-Micromachining
  • Mechanical Micromachining
  • Microgrinding
  • Diamond Microcutting Tools
  • Laser Micro- and Nanofabrication
  • Micromachining Using Pulsed Water Droplets
  • Diamond Nanogrinding
  • Nanomachining
  • Micro-and Nanomanufacturing.