Control and Optimization of Multiscale Process Systems

Interest in the control and optimization of multiscale process systems has been triggered by the need to achieve tight feedback control and optimal operation of complex processes, such as deposition and sputtering of thin films in semiconductor manufacturing, which are characterized by highly couple...

Πλήρης περιγραφή

Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
Κύριοι συγγραφείς: Christofides, Panagiotis D. (Συγγραφέας), Armaou, Antonios (Συγγραφέας), Lou, Yiming (Συγγραφέας), Varshney, Amit (Συγγραφέας)
Συγγραφή απο Οργανισμό/Αρχή: SpringerLink (Online service)
Μορφή: Ηλεκτρονική πηγή Ηλ. βιβλίο
Γλώσσα:English
Έκδοση: Boston : Birkhäuser Boston, 2009.
Σειρά:Control Engineering
Θέματα:
Διαθέσιμο Online:Full Text via HEAL-Link
Πίνακας περιεχομένων:
  • Multiscale Process Modeling and Simulation
  • Control Using Kinetic Monte Carle Models
  • Construction of Stochastic PDEs
  • Feedback Control Using Stochastic PDEs
  • Optimization of Multiscale Process Systmes
  • Dynamic Optimization of Multiscale PDE/kMC Process Systems.