Silicon Carbide Microsystems for Harsh Environments

<p><em>Silicon Carbide Microsystems for Harsh Environments</em> reviews state-of-the-art Silicon Carbide (SiC) technologies that, when combined, create microsystems capable of surviving in harsh environments. Technological readiness of the system components, key issues when integra...

Πλήρης περιγραφή

Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
Κύριοι συγγραφείς: Wijesundara, Muthu B.J (Συγγραφέας), Azevedo, Robert (Συγγραφέας)
Συγγραφή απο Οργανισμό/Αρχή: SpringerLink (Online service)
Μορφή: Ηλεκτρονική πηγή Ηλ. βιβλίο
Γλώσσα:English
Έκδοση: New York, NY : Springer New York, 2011.
Σειρά:MEMS Reference Shelf, 22
Θέματα:
Διαθέσιμο Online:Full Text via HEAL-Link
Πίνακας περιεχομένων:
  • Introduction to Harsh MEMs
  • Silicon Carbide Processing
  • Silicon Carbide Electronics
  • Silicon Carbide MEMS Devices
  • Silicon Carbide MEMs Device Packaging
  • System Integration.