Silicon Carbide Microsystems for Harsh Environments
<p><em>Silicon Carbide Microsystems for Harsh Environments</em> reviews state-of-the-art Silicon Carbide (SiC) technologies that, when combined, create microsystems capable of surviving in harsh environments. Technological readiness of the system components, key issues when integra...
Κύριοι συγγραφείς: | , |
---|---|
Συγγραφή απο Οργανισμό/Αρχή: | |
Μορφή: | Ηλεκτρονική πηγή Ηλ. βιβλίο |
Γλώσσα: | English |
Έκδοση: |
New York, NY :
Springer New York,
2011.
|
Σειρά: | MEMS Reference Shelf,
22 |
Θέματα: | |
Διαθέσιμο Online: | Full Text via HEAL-Link |
Πίνακας περιεχομένων:
- Introduction to Harsh MEMs
- Silicon Carbide Processing
- Silicon Carbide Electronics
- Silicon Carbide MEMS Devices
- Silicon Carbide MEMs Device Packaging
- System Integration.