SpringerLink (Online service) & Hwang, C. S. (2014). Atomic Layer Deposition for Semiconductors. Springer US : Imprint: Springer.
Παραπομπή σε μορφή Chicago (17η εκδ.)SpringerLink (Online service) και Choel Seong Hwang. Atomic Layer Deposition for Semiconductors. Boston, MA: Springer US : Imprint: Springer, 2014.
Παραπομπή σε μορφή MLA (8th εκδ.)SpringerLink (Online service) και Choel Seong Hwang. Atomic Layer Deposition for Semiconductors. Springer US : Imprint: Springer, 2014.
Πρόσοχή: Οι παραπομπές μπορεί να μην είναι 100% ακριβείς.