Piezoresistor Design and Applications

This book is a comprehensive guide to piezoresistive MEMS sensor design. Piezoresistors transduce mechanical loads into electrical signals via a resistance change, and comprise a substantial portion of the commercial MEMS sensors market. Applications of piezoresistors include strain gauges, accelero...

Πλήρης περιγραφή

Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
Κύριοι συγγραφείς: Doll, Joseph C. (Συγγραφέας), Pruitt, Beth L. (Συγγραφέας)
Συγγραφή απο Οργανισμό/Αρχή: SpringerLink (Online service)
Μορφή: Ηλεκτρονική πηγή Ηλ. βιβλίο
Γλώσσα:English
Έκδοση: New York, NY : Springer New York : Imprint: Springer, 2013.
Σειρά:Microsystems and Nanosystems ; 1
Θέματα:
Διαθέσιμο Online:Full Text via HEAL-Link
Πίνακας περιεχομένων:
  • Introduction
  • Piezoresistance fundamentals
  • Sensitivity, noise and resolution
  • Fabrication and process modeling
  • Temperature effects
  • Design optimization
  • Alternative materials and transduction methods.