Copper Electrodeposition for Nanofabrication of Electronics Devices
This book discusses the scientific mechanism of copper electrodeposition and it's wide range of applications. The book will cover everything from the basic fundamentals to practical applications. In addition, the book will also cover important topics such as: • ULSI wiring material based upon c...
Πλήρης περιγραφή
Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
Συγγραφή απο Οργανισμό/Αρχή: |
SpringerLink (Online service) |
Άλλοι συγγραφείς: |
Kondo, Kazuo
(Επιμελητής έκδοσης),
Akolkar, Rohan N.
(Επιμελητής έκδοσης),
Barkey, Dale P.
(Επιμελητής έκδοσης),
Yokoi, Masayuki
(Επιμελητής έκδοσης) |
Μορφή: | Ηλεκτρονική πηγή
Ηλ. βιβλίο
|
Γλώσσα: | English |
Έκδοση: |
New York, NY :
Springer New York : Imprint: Springer,
2014.
|
Σειρά: | Nanostructure Science and Technology,
|
Θέματα: | |
Διαθέσιμο Online: | Full Text via HEAL-Link
|