Gettering Defects in Semiconductors

Gettering Defects in Semiconductors fulfills three basic purposes: – to systematize the experience and research in exploiting various gettering techniques in microelectronics and nanoelectronics; – to identify new directions in research, particularly to enhance the perspective of professionals and y...

Πλήρης περιγραφή

Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
Κύριοι συγγραφείς: Perevoschikov, Victor A. (Συγγραφέας), Skoupov, Vladimir D. (Συγγραφέας)
Συγγραφή απο Οργανισμό/Αρχή: SpringerLink (Online service)
Μορφή: Ηλεκτρονική πηγή Ηλ. βιβλίο
Γλώσσα:English
Έκδοση: Berlin, Heidelberg : Springer Berlin Heidelberg, 2005.
Σειρά:Springer Series in Advanced Microelectronics, 19
Θέματα:
Διαθέσιμο Online:Full Text via HEAL-Link
Πίνακας περιεχομένων:
  • Basic technological processes and defect formation in the components of device structures
  • Effects of defects on electrophysical and functional parameters in semiconducting structures and devices
  • Techniques for high-temperature gettering
  • Physical foundations for low-temperature gettering techniques.