Παρασκευή μεμβρανών πορώδους πυριτίου και χαρακτηρισμός με μικροσκόπιο ηλεκτρονικής σάρωσης (SEM)

• Main Author: Δημητρόπουλος, Μαρίνος
• Other Authors: Βραδής, Αλέξανδρος
• Format: Thesis
• Language: Greek
• Published: 2018
• Subjects: Πυρίτιο; Πόροι; Ανοδίωση; Χαρακτηρισμός; Μηχανικό σχέδιο; Silicon; Ppores; Anodization; Characterization; Mechanical design; 660.6

Το αντικείμενο της παρούσας διπλωματικής εργασίας αποτέλεσε το πορώδες πυρίτιο, και συγκεκριμένα η διερεύνηση των συνθηκών σχηματισμού του που οδηγούν στα επιθυμητά μορφολογικά χαρακτηριστικά των μεμβρανών. Παράλληλα με τη διερεύνηση των μορφολογιών, υλοποιήθηκαν διάφορες τεχνικές αποκόλλησης (lift-off) του στρώματος πορώδους πυριτίου που είχε δημιουργηθεί για την απόκτηση ελεύθερων μεμβρανών (free-standing membranes), κατάλληλου πάχους και μηχανικής σταθερότητας για εφαρμογές που αναπτύχθηκαν στο εργαστήριο.