Παρασκευή μεμβρανών πορώδους πυριτίου και χαρακτηρισμός με μικροσκόπιο ηλεκτρονικής σάρωσης (SEM)

Το αντικείμενο της παρούσας διπλωματικής εργασίας αποτέλεσε το πορώδες πυρίτιο, και συγκεκριμένα η διερεύνηση των συνθηκών σχηματισμού του που οδηγούν στα επιθυμητά μορφολογικά χαρακτηριστικά των μεμβρανών. Παράλληλα με τη διερεύνηση των μορφολογιών, υλοποιήθηκαν διάφορες τεχνικές αποκόλλησης (lift-...

Πλήρης περιγραφή

Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
Κύριος συγγραφέας: Δημητρόπουλος, Μαρίνος
Άλλοι συγγραφείς: Βραδής, Αλέξανδρος
Μορφή: Thesis
Γλώσσα:Greek
Έκδοση: 2018
Θέματα:
Διαθέσιμο Online:http://hdl.handle.net/10889/10928
Περιγραφή
Περίληψη:Το αντικείμενο της παρούσας διπλωματικής εργασίας αποτέλεσε το πορώδες πυρίτιο, και συγκεκριμένα η διερεύνηση των συνθηκών σχηματισμού του που οδηγούν στα επιθυμητά μορφολογικά χαρακτηριστικά των μεμβρανών. Παράλληλα με τη διερεύνηση των μορφολογιών, υλοποιήθηκαν διάφορες τεχνικές αποκόλλησης (lift-off) του στρώματος πορώδους πυριτίου που είχε δημιουργηθεί για την απόκτηση ελεύθερων μεμβρανών (free-standing membranes), κατάλληλου πάχους και μηχανικής σταθερότητας για εφαρμογές που αναπτύχθηκαν στο εργαστήριο.