Παρασκευή μεμβρανών πορώδους πυριτίου και χαρακτηρισμός με μικροσκόπιο ηλεκτρονικής σάρωσης (SEM)
Το αντικείμενο της παρούσας διπλωματικής εργασίας αποτέλεσε το πορώδες πυρίτιο, και συγκεκριμένα η διερεύνηση των συνθηκών σχηματισμού του που οδηγούν στα επιθυμητά μορφολογικά χαρακτηριστικά των μεμβρανών. Παράλληλα με τη διερεύνηση των μορφολογιών, υλοποιήθηκαν διάφορες τεχνικές αποκόλλησης (lift-...
| Κύριος συγγραφέας: | |
|---|---|
| Άλλοι συγγραφείς: | |
| Μορφή: | Thesis |
| Γλώσσα: | Greek |
| Έκδοση: |
2018
|
| Θέματα: | |
| Διαθέσιμο Online: | http://hdl.handle.net/10889/10928 |
| Περίληψη: | Το αντικείμενο της παρούσας διπλωματικής εργασίας αποτέλεσε το πορώδες πυρίτιο, και συγκεκριμένα η διερεύνηση των συνθηκών σχηματισμού του που οδηγούν στα επιθυμητά μορφολογικά χαρακτηριστικά των μεμβρανών. Παράλληλα με τη διερεύνηση των μορφολογιών, υλοποιήθηκαν διάφορες τεχνικές αποκόλλησης (lift-off) του στρώματος πορώδους πυριτίου που είχε δημιουργηθεί για την απόκτηση ελεύθερων μεμβρανών (free-standing membranes), κατάλληλου πάχους και μηχανικής σταθερότητας για εφαρμογές που αναπτύχθηκαν στο εργαστήριο. |
|---|
