Ανάπτυξη και μελέτη δομών Αl / HfO2 / p-Si

• Κύριος συγγραφέας: Χατζηπαπάς, Ιωάννης
• Άλλοι συγγραφείς: Γεωργά, Σταυρούλα
• Μορφή: Thesis
• Γλώσσα: Greek
• Έκδοση: 2020
• Θέματα: Υποστρώματα πυριτίου; Διηλεκτρικά υμένια; Mos; ΗfO2

Η παρούσα μεταπτυχιακή διπλωματική εργασία πραγματεύεται την ανάπτυξη και μελέτη διατάξεων ΜOS σε υποστρώματα πυριτίου (Si) τύπου –p. Ως διηλεκτρικό υλικό αναπτύχθηκαν λεπτά υμένια ΗfO2. Ως μέταλλο πύλης χρησιμοποιήθηκε αλουμίνιο (Αl). Οι πιο γνωστές τεχνικές εναπόθεσης διηλεκτρικών υμενίων είναι η...