Ανάπτυξη και μελέτη δομών Αl / HfO2 / p-Si
Η παρούσα μεταπτυχιακή διπλωματική εργασία πραγματεύεται την ανάπτυξη και μελέτη διατάξεων ΜOS σε υποστρώματα πυριτίου (Si) τύπου –p. Ως διηλεκτρικό υλικό αναπτύχθηκαν λεπτά υμένια ΗfO2. Ως μέταλλο πύλης χρησιμοποιήθηκε αλουμίνιο (Αl). Οι πιο γνωστές τεχνικές εναπόθεσης διηλεκτρικών υμενίων είναι η...
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Format: | Thesis |
| Language: | Greek |
| Published: |
2020
|
| Subjects: | |
| Online Access: | http://hdl.handle.net/10889/13963 |
