Ανάπτυξη και μελέτη δομών Αl / HfO2 / p-Si

• Main Author: Χατζηπαπάς, Ιωάννης
• Other Authors: Γεωργά, Σταυρούλα
• Format: Thesis
• Language: Greek
• Published: 2020
• Subjects: Υποστρώματα πυριτίου; Διηλεκτρικά υμένια; Mos; ΗfO2

Η παρούσα μεταπτυχιακή διπλωματική εργασία πραγματεύεται την ανάπτυξη και μελέτη διατάξεων ΜOS σε υποστρώματα πυριτίου (Si) τύπου –p. Ως διηλεκτρικό υλικό αναπτύχθηκαν λεπτά υμένια ΗfO2. Ως μέταλλο πύλης χρησιμοποιήθηκε αλουμίνιο (Αl). Οι πιο γνωστές τεχνικές εναπόθεσης διηλεκτρικών υμενίων είναι η...