| Περίληψη: | Η εργασία μας περιλαμβάνει δύο μέρη. Στο πρώτο μέρος μελετάται η
επίδραση της αύξησης της πίεσης στις παραμέτρους του πλάσματος και πως οι
παρατηρούμενες μεταβολές επιδρούν τόσο στο ρυθμό ανάπτυξης όσο και στη δομή
των εναποτιθέμενων υμενίων. Στο δεύτερο μέρος με τη μεταβολή της χημικής
σύστασης του αέριου μίγματος μελετάται η εύρεση του σημείου όπου εναποτίθεται
πλέον άμορφο υδρογονωμένο πυρίτιο αντί για μικροκρυσταλλικό. Σκοπός αυτής της
μελέτης ήταν ο προσδιορισμός των παραμέτρων που οδηγούν τελικά στην απώλεια
της κρυσταλλικής δομής των υμενίων. Τέλος, μελετάται η επίδραση τις προσθήκης
εξωτερικής πόλωσης στο ηλεκτρόδιο που στηρίζεται το υπόστρωμα στις
παραμέτρους του πλάσματος και στη δομή των εναποτιθέμενων υμενίων.
Το κείμενο της παρουσίασης χωρίζεται σε επτά κεφάλαια, το πρώτο από τα
όποία είναι τούτη η εισαγωγή
Το δεύτερο κεφάλαιο αφορά το πειραματικό μέρος των πειραμάτων. Πιο
συγκεκριμένα παρουσιάζεται η πειραματική διάταξη όπου πραγματοποιήθηκαν τα
πειράματα ενώ επιπρόσθετα αναλύονται οι διαγνωστικές τεχνικές που
χρησιμοποιήθηκαν στην παρούσα εργασία.
Στο τρίτο κεφάλαιο πραγματοποιείται αρχικά μια ανασκόπηση των
παραλλαγών της χημικής εναπόθεσης μέσω πλάσματος που έχουν προταθεί τα
τελευταία χρόνια και οδηγούν σε υψηλότερους ρυθμούς ανάπτυξης υμενίων πυριτίου
κατάλληλων για εφαρμογή σε ιδιοσυσκευές. Στη συνέχεια παρατίθενται τα
αποτελέσματα της μεθόδου που επιλέχθηκε να εφαρμοσθεί στο εργαστήριο
Τεχνολογίας Πλάσματος. Πιο συγκεκριμένα, επιλέχθηκε η εναπόθεση υμενίων σε
υψηλές πιέσεις (1-10 Torr) σε εκκενώσεις σιλανίου υψηλής αραίωσης σε υδρογόνο
για την εναπόθεση υδρογονωμένου μικροκρυσταλλικού πυριτίου, για διαφορετικές
αποστάσεις ηλεκτροδίων (12-25 mm). Η ανάλυση των αποτελεσμάτων εστιάζεται
στις μεταβολές των παραμέτρων του πλάσματος με την αύξηση της πίεσης και στο
πως οι μεταβολές αυτές επιδρούν στη βελτιστοποίηση του ρυθμού ανάπτυξης του
υλικού. Στο τέταρτο κεφάλαιο διερευνάται η επίδραση της μεταβολής της πίεσης στη
δομή των υμενίων. Οι εναποθέσεις των υμενίων πραγματοποιήθηκαν στις βέλτιστες
συνθήκες που προσδιορίστηκαν πειραματικά στο προηγούμενο κεφάλαιο.
Διαπιστώθηκε ότι τα υμένια τα οποία εναποτέθηκαν σε αυτές τις συνθήκες
παρουσιάζουν υψηλό ποσοστό κρυσταλλικότητας (>70%). Η αύξηση της πίεσης
ενισχύει το ποσοστό κρυσταλλικότητας μόνο κατά την αύξηση της από το 1 στα 2.5
Torr ενώ στη συνέχεια με περαιτέρω αύξηση διατηρείται σχεδόν σταθερό. Η
συμπεριφορά αυτή αναλύεται περαιτέρω με βάση και τη σύσταση του αέριου
μίγματος. Στη συνέχεια έμφαση δίνεται στις πληροφορίες που μπορούν να εξαχθούν
από τις διαγνωστικές τεχνικές για τα χαρακτηριστικά των υμενίων, δηλαδή τον τρόπο
σύνδεσης του υδρογόνου στο στερεό καθώς και την τάση (stress) των υμενίων.
Στο πέμπτο κεφάλαιο περνάμε στο δεύτερο μέρος της διατριβής. Διερευνάται
η επίδραση της μεταβολής της χημικής σύστασης του αερίου μίγματος, πιο
συγκεκριμένα η αύξηση του ποσοστού SiH4, στις μικροσκοπικές παραμέτρους του
πλάσματος. Στη συνέχεια εξετάζεται ποιες από αυτές τις παραμέτρους κατέχουν
καθοριστικό ρόλο στη μεταβολή της φάσης του υλικού, από μικροκρυσταλλικό σε
άμορφο υδρογωνομένο πυρίτιο. Έμφαση δίνεται στο ρόλο της ροής των φορτισμένων
σωματιδίων και του ατομικού υδρογόνου προς την επιφάνεια και διερευνάται
περαιτέρω αν οι μεταβολές αυτές επιδρούν στη αλλαγή της δομής.
Στο έκτο κεφάλαιο της διατριβής επιλέχθηκε να τροποποιηθεί η ενέργεια με
την οποία τα ιόντα προσκρούουν στην αναπτυσσόμενη επιφάνεια με την προσθήκη
μιας εξωτερικής πόλωσης στο ηλεκτρόδιο στο οποίο στηρίζεται το υπόστρωμα.
Σκοπός των πειραμάτων αφενός ήταν η μελέτη των μεταβολών στις ιδιότητες του
πλάσματος με την προσθήκη της πόλωσης και αφετέρου η επίδραση αυτής της
μεταβολής της ενέργειας των ιόντων στο ρυθμό ανάπτυξης και στη δομή των
εναποτιθέμενων υμενίων. Η μελέτη των μεταβολών των παραμέτρων του πλάσματος
είναι απαραίτητη για την εξαγωγή αξιόπιστων συμπερασμάτων και επιπρόσθετα
παρουσιάζει ιδιαίτερο ενδιαφέρον καθώς δεν έχει αναφερθεί μια ανάλογη μελέτη στη
βιβλιογραφία. Οι μετρήσεις πραγματοποιήθηκαν σε συνθήκες που οδηγούν σε
εναπόθεση υμενίων σε συνθήκες κοντά στο σημείο μετάβασης από άμορφο σε
μικροκρυσταλλικό πυρίτιο για τη διερεύνηση του ρόλου των ιόντων. Τέλος, στο έβδομο κεφάλαιο συνοψίζονται τα συμπεράσματα της
εργασίας και διατυπώνονται προτάσεις για τη συνέχιση της ερευνητικής προσπάθειας
στο μέλλον.
|
|---|
