Περίληψη: | Το διοξείδιο του τιτανίου υπό τη μορφή λεπτού υμενίου, λόγω της φωτοεπαγόμενης υδροφιλικότητας του, αποτελεί μια δημοφιλή επιλογή για την κατασκευή βιοαισθητήρων. Αυτή η εφαρμογή, καθώς και ποικίλες άλλες, έχουν οδηγήσει στην εκτεταμένη μελέτη της εναπόθεσης λεπτών υμενίων τιτάνιας, καθώς και της επίδρασης της μεταβολής των παραμέτρων της εναπόθεσης.
Στην παρούσα διπλωματική εργασία, μελετήθηκε η εναπόθεση υμενίων μέσω της τεχνικής RF Reactive Magnetron Sputtering. Η έρευνα χωρίστηκε σε δύο μέρη. Κατά το πρώτο μέρος, μεταβλήθηκε η κλίση του υποστρώματος ως προς το στόχο, και μελετήθηκε η βραχυχρόνια συμπεριφορά των δειγμάτων, καθώς και η επίδραση, της υπεριώδους ακτινοβολίας και την ηλιακής ακτινοβολίας, σε αυτά. Στο δεύτερο μέρος, μελετήθηκε η εναπόθεση λεπτών υμενίων φθοροϋδρογονάνθρακα σε υποστρώματα ανατάση και ρουτίλη, και η συμπεριφορά τους κατά την έκθεση τους σε υπεριώδη κι ηλιακή ακτινοβολία.
Η μελέτη του υδρόφιλου χαρακτήρα των υμενίων, έγινε με τη χρήση γωνιομέτρου για τον υπολογισμό της γωνίας διαβροχής.
Από τα αποτελέσματα που εξήχθησαν, συμπεραίνεται ότι οι μεταβολές των παραμέτρων εναπόθεσης, η εναπόθεση λεπτών υμενίων φθοροϋδρογονάνθρακα, και η φώτιση με υπεριώδη και ηλιακή ακτινοβολία, μεταβάλλουν δραστικά τον υδρόφιλο χαρακτήρα των λεπτών υμενίων τιτάνιας.
|