Εναπόθεση άμορφου υδρογονωμένου πυριτίου στην εκκένωση αίγλης του σιλανίου : ρόλος των ενεργών ενδιαμέσων

• Main Author: Ματαράς, Δημήτρης
• Other Authors: Ραπακούλιας, Δ.
• Format: Thesis
• Language: Greek
• Published: 2009
• Subjects: Χημική τεχνολογία; Πλάσμα; Chemical technology; Plasma; 660.044

-