Αποστολή με SMS: Ανάπτυξη υμενίων ZrO2 σε υποστρώματα p-Ge με τη μέθοδο ALD : μελέτη διεπιφανειακών ιδιοτήτων και μηχανισμών αγωγιμότητας συναρτήσει της θερμοκρασίας