Μελέτη διεπιφανειών οξειδίων με ανόργανα και οργανικά υποστρώματα

Στην παρούσα εργασία μελετήθηκαν λεπτά υμένια οξειδίου του αλουμινίου (Al2O3) και οζειδίου του ζιρκονίου (ZrO2). Η ανάπτυξη των οξειδίων έγινε πάνω σε υπόστρωμα γερμανίου (Ge) με την τεχνική εναπόθεσης ατομικού στρώματος (Atomic Layer Deposition, ALD). Επίσης μελετήθηκαν υμένια οξειδίου του βολφραμί...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Σκουλατάκης, Γεώργιος
Other Authors: Κέννου, Στέλλα
Format: Thesis
Language:Greek
Published: 2013
Subjects:
Online Access:http://hdl.handle.net/10889/6375