Μελέτη διεπιφανειών οξειδίων με ανόργανα και οργανικά υποστρώματα
Στην παρούσα εργασία μελετήθηκαν λεπτά υμένια οξειδίου του αλουμινίου (Al2O3) και οζειδίου του ζιρκονίου (ZrO2). Η ανάπτυξη των οξειδίων έγινε πάνω σε υπόστρωμα γερμανίου (Ge) με την τεχνική εναπόθεσης ατομικού στρώματος (Atomic Layer Deposition, ALD). Επίσης μελετήθηκαν υμένια οξειδίου του βολφραμί...
Main Author: | |
---|---|
Other Authors: | |
Format: | Thesis |
Language: | Greek |
Published: |
2013
|
Subjects: | |
Online Access: | http://hdl.handle.net/10889/6375 |