Ανάπτυξη της μεθόδου μέτρησης της ισχύος και της εμπέδησης του πλάσματος στην διεργασία εναπόθεσης μικροκρυσταλλικού πυριτίου

• Main Author: Τσιγάρας, Ιωάννης
• Other Authors: Ματαράς, Δημήτριος
• Format: Thesis
• Language: Greek
• Published: 2014
• Subjects: Πλάσμα; Ηλεκτρικός χαρακτηρισμός; Εμπέδηση; Ηλεκτρικές μετρήσεις; Χωρητικά συζευγμένες εκκένωση αίγλης; Ισχύς; Ραδιοσυχνότητα; Plasma; Electrical characterization; Impedance; Electrical measurements; Capacitively coupled glow discharges; Power; Radiofrequency; 537.52

Τις τελευταίες δεκαετίες, οι διεργασίες πλάσματος με τάση διέγερσης ραδιοσυχνότητας χρησιμοποιούνται ολοένα και περισσότερο και απαντώνται σε διάφορες εφαρμογές όπως στην εναπόθεση υλικών, στην επεξεργασία επιφανειών κα. Αυτό έχει ως αποτέλεσμα οι εκκενώσεις αίγλης ραδιοσυχνότητας να προσελκύσουν έν...