Εναπόθεση και χαρακτηρισμός νανοδομημένου πυριτίου για οπτοηλεκτρονικές εφαρμογές

• Κύριος συγγραφέας: Φαρσάρη, Εργίνα
• Άλλοι συγγραφείς: Ματαράς, Δημήτριος
• Μορφή: Thesis
• Γλώσσα: Greek
• Έκδοση: 2016
• Θέματα: Νανοδομημένο υδρογονωμένο πυρίτιο; Χημική εναπόθεση ατμών υποβοηθούμενη με πλάσμα; Nanostructured hydrogenated silicon; Plasma enhanced chemical vapour deposition; 621.381045

Το νανοδομημένο υδρογονωμένο πυρίτιο αποτελεί ένα από τα βασικότερα υλικά των οπτοηλεκτρονικών διατάξεων λεπτών υμενίων (φωτοβολταϊκά κελιά λεπτών υμενίων, TFT, αισθητήρες). Η κύρια τεχνική που χρησιμοποιείται βιομηχανικά για την παραγωγή υμενίων υδρογονωμένου πυριτίου, είναι η χημική εναπόθεση ατμώ...