Εναπόθεση και χαρακτηρισμός νανοδομημένου πυριτίου για οπτοηλεκτρονικές εφαρμογές

• Main Author: Φαρσάρη, Εργίνα
• Other Authors: Ματαράς, Δημήτριος
• Format: Thesis
• Language: Greek
• Published: 2016
• Subjects: Νανοδομημένο υδρογονωμένο πυρίτιο; Χημική εναπόθεση ατμών υποβοηθούμενη με πλάσμα; Nanostructured hydrogenated silicon; Plasma enhanced chemical vapour deposition; 621.381045

Το νανοδομημένο υδρογονωμένο πυρίτιο αποτελεί ένα από τα βασικότερα υλικά των οπτοηλεκτρονικών διατάξεων λεπτών υμενίων (φωτοβολταϊκά κελιά λεπτών υμενίων, TFT, αισθητήρες). Η κύρια τεχνική που χρησιμοποιείται βιομηχανικά για την παραγωγή υμενίων υδρογονωμένου πυριτίου, είναι η χημική εναπόθεση ατμώ...