System-level modeling of MEMS /

• Άλλοι συγγραφείς: Bechtold, T. (Tamara), Schrag, Gabriele, Feng, Lihong
• Μορφή: Ηλ. βιβλίο
• Γλώσσα: English
• Έκδοση: Weinheim : Wiley-VCH, [2013]
• Σειρά: Advanced micro et nanosystems ; 10.
• Θέματα: Microelectromechanical systems > Simulation methods.; Electronic books.